QSG1、QSG2透明石英玻璃坩堝
2007-04-05 11:33
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工業(yè)拉制單晶用的透明石英玻璃坩堝。半導(dǎo)體用透明石英玻璃坩堝有QSG1高純透明石英玻璃坩堝與QSG2透明石英玻璃坩堝兩種。一、技術(shù)栗求 1．物理、化學(xué)性能指標(biāo)（1）化學(xué)成分 a．QSG1高純透明石英玻璃坩堝鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鈷、鎳、錳、硼、鉀、鈉、鋰十三個(gè)雜質(zhì)元素的總含量不得大于0．001％。其中：鋁≤5×l0[-4]％；銅≤0．l×l0[-4]％；鐵≤0．5×l0[-4]％；硼≤0．1×l0[-4]％；鉀≤1×l0[-4]％；鈉≤1×10[-4]％。 6．QSG2透明石英玻璃坩堝鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鈷、鎳、錳、硼、鉀、鈉、鋰十三個(gè)雜質(zhì)元素的總含量不得大于0．01％。其中：鋁≤60×10[-4]％；銅≤0．1×l0[-4]％；鐵≤5×l0[-4]％；硼≤0．3×l0[-4]％；鉀≤4×l0[-4]％；鈉≤4×l0[-4]％。（2）熱穩(wěn)定性。試樣在1100℃至20℃溫度急變下試驗(yàn)三次，不產(chǎn)生裂紋。（3）抗析晶性試樣在1200℃溫度下恒溫半小時(shí)，對(duì)于高純透明石英玻璃坩堝不允許出現(xiàn)直徑大于0．5毫米的析晶白點(diǎn)；對(duì)于透明石英玻璃坩堝不允許出現(xiàn)直徑大于3毫米的析晶白點(diǎn)， 0.5￣3毫米的析晶白點(diǎn)，每100平方厘米不得超過10個(gè)。 2．外觀指標(biāo)（1）兩種坩堝均按外觀指標(biāo)分為二級(jí)（見表1）。表１項(xiàng)目外觀指標(biāo)一 級(jí)二級(jí)氣直徑弧度部分 0.1￣0.2 0.3￣0.4毫米直線部分 0.1￣0.3 0.3￣0.7泡允許數(shù)量（個(gè)/厘米[2]）≤3≤6氣絲狀長徑（毫米） 0.5￣3.0 1.0￣7.0泡點(diǎn)狀直徑（毫米） 0.3￣2.0 0.5￣3.0群允許總數(shù)（個(gè)/100厘米[2]）≤5≤8暗長徑弧度部分毫米直線部分疤允許數(shù)量（條/100厘米[2]）≤2≤4色絲狀長徑（毫米） 0.1￣1.0 0.2￣1.5點(diǎn)狀直徑（毫米） 0.1￣0.3 0.2￣0.5斑允許總數(shù)（個(gè)/100厘米[2]）≤2≤4揪痕直徑（毫米）不允許≤13揪揪痕深度（毫米）不允許≤0.3揪痕 D 100毫米以下坩堝不允許≤2痕數(shù)量 D 100￣130毫米坩堝≤3透明顆粒允許數(shù)量（個(gè)/100厘米[2]）≤10≤30波紋（毫米）≤0.2≤0.3桔皮不允許按標(biāo)樣云霧不允許不允許注：ⅱ①缺陷寬度小于點(diǎn)狀下限的按絲狀計(jì)。②非圓形缺陷的直徑按算術(shù)平均值計(jì)。（2）坩堝口部應(yīng)細(xì)磨（內(nèi)外倒角）戍燒圓。不得有缺口，不得有深、寬大于4毫米的表皮崩落。（3）坩堝表面光滑整潔，內(nèi)表面不允許有色斑。（4）不允許有沾污和析晶。二、形狀與規(guī)格尺寸? 3．半導(dǎo)體用透明石英玻璃坩堝的形狀與規(guī)格尺寸應(yīng)符合下圖及表2的規(guī)定。表２單位：毫米外徑高度底半徑厚度范圍同一橫截面的厚度公差 D H R 80+0.5 60+2 D-1 2.0￣2.8 0.3 -0.8 -1─── 2 90+0.5 70+2 D-1 2.0￣2.8 0.3 -0.8 -1─── 2 100+0.5 80+2 D-2 2.0￣2.8 0.3 -1.0 -1─── 2 106+0.5 90+2 D-1 2.0￣2.8 0.3 -1.0 -1─── 2 114+0.5 75±2 D-1 2.0￣2.8 0.3 -1.0─── 2 130+0.5 110±2 D-1 2.0￣2.8 0.4 -1.5─── 2注：D 130毫米以上坩堝按協(xié)議。三、試驗(yàn)方法 4．化學(xué)成分按JC 186－81《石英玻璃原料及制品中微量雜質(zhì)元素的分析方法》中的規(guī)定進(jìn)行。 5．熱穩(wěn)定性按JC 187－73《石英玻璃熱穩(wěn)定性檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。 6．抗結(jié)晶性按JC 188－73《石英玻璃抗結(jié)晶性檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。 7．氣泡按JC190－81《透明石英玻璃氣泡、氣線檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。
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